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PSS衬底片反射率测量及分类机系我公司与清华大学合作研制的专利产品。该设备可在线快速检测PSS衬底片刻蚀前和刻蚀后的反射率(PR)数据,生成高分辨率的Mapping图,可为衬底片刻蚀工艺控制提供可靠的数据。

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