外延片PL谱扫描成像仪 首页 > 晶片/外延片/衬底片测量设备

外延片PL谱扫描成像仪系我公司在国家高技术研究发展计划(“863”计划)的支持下,与清华大学合作研制的专利产品。本成像仪可在线快速检测外延片的PL数据,生成高分辨率的Mapping图,并具有膜厚和反射率测量功能,可为外延片生产工艺控制提供可靠的数据。

 

目前该设备包括IM-1000、IM-1100、IM-2000、IM-3000四个系列。

IM-1000系列:桌面手动型PL谱仪

IM-1100系列:移动机柜手动型PL谱仪

IM-2000系列:倾斜料仓2、4寸自动型PL谱仪

IM-3000系列:双臂机械手型PL谱仪

 

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