通过特定波长激光激发指定材料，获得荧光光谱，对荧光光谱进行采集并后处理呈现荧光各项特征。波长覆盖紫外到近红外（200-2500nm），可对2-12寸外延片进行测量。

半自动（手动）PL扫描成像仪IM-1180

自动PL扫描成像仪IM-3600

外延片低温PL测试仪IM-1090

炉盘分析软件